Profilm3D 3D表面形狀測量系統(tǒng)的測量示例

Profilm3D 3D表面形狀測量系統(tǒng)的測量示例

測量示例

粗糙度測量

測量硅襯底上的粗糙度?？梢詼y量符合 ISO 的線粗糙度 (R) 和表面粗糙度 (S)。

不均勻形狀的測量

測量銅基板上納米級的不均勻性?？梢砸淮螠y量1平方毫米區(qū)域內(nèi)納米級的不均勻形狀。

鏡片形狀

測量鏡片的形狀。您可以高精度地觀察所表達(dá)的形狀。

步進測量

測量雙焦鏡片的水平差。

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級臺階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡、自動載物臺以及便于操作和分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

低價！
在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價
納米量級
的高分辨率采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率
全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
XY自動載物臺、手動左輪、自動光強調(diào)節(jié)、自動對焦功能
緊湊型外殼
主體占地面積為 30 x 30 厘米的緊湊型設(shè)計。
配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式
一個裝置同時測量步距測量和粗糙度測量
操作
簡單基本操作只需簡單的鼠標(biāo)操作
根據(jù) ISO 測量粗糙度符合
國際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178
擴展
性多種物鏡選擇、數(shù)據(jù)拼接功能

主要用途

半導(dǎo)體	晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域	注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板	銅線、凸塊、透鏡等